金融界2024年12月13日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中微半导体（上海）有限公司获得一项名为“一种基座组件、真空吸盘及薄膜堆积设备”的专利，授权公告号 CN 118773581 B，请求日期为2024年9月。
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